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CF显影液:YD-8000A

产品概述 产品特点 功能流程 技术参数

显影液是显示面板和半导体制作过程中用量较大的一种电子湿化学品,用于光刻工艺中光刻胶的显影,国内厂商目前仍主要使用国外显影液产品为主。在显示面板CF领域用到的显影液,在目前市场上常用的主要是KOH含量约为4.5%的显影液产品,使用方式是显影液与去离子水以1:99混合后进行显影,近年来希望能通过配方优化进一步降低成本,提高产品竞争力。其中,通过提高显影液的浓度,降低生产成本、运输费用以及简化流程是最为可行的方案,但显影液的浓度的提高意味着KOH含量的提高,传统的表面活性剂在高浓度碱的条件下大都稳定性差从而影响显影效果。因此,提高显影液浓度的关键在于表面活性剂的设计,即需要同时满足润湿、渗透、乳化、洗净、消泡、耐碱和漂洗等各项性能指标,且需要在特定情况下满足对不同光刻胶的显影和分散性能。

本项目研究在显影液的开发上投入大量资源,根据显影液的性能要求,进行表面活性剂的结构设计研究以及工业化生产探索,经过长期的资金投入和测试验证,开发出高浓度显影液原液,KOH含量约为9%,可显著降低生产和运输成本。高浓度显影液在1:199与水混合条件下使用,我们与国内相关显示面板厂商进行合作,在厂商的试验线、生产线上进行测试,达到目前低面上在用国外浓度显影液产品的各项性能要求,且部分指标优于国外浓度显影液产品。主要创新如下:1. 通过引入“苯乙烯苯酚”基团仿生设计制备新型“双子型非离子嵌段聚醚”表面活性剂,提高表面活性剂的耐碱度、降低其临界胶束浓度,在解决低浊度的同时使高浓度显影液可与目前绝大数量产光阻反应显影,满足显影液性能;2. 探索多种光阻分子与光刻胶的微观作用机制,解决显影精细度和兼容性问题;3. 构建聚醚复杂状态下的自组装模型,明确其自组装及破稳规律,解决显影过程中的泡沫问题。